首页 > 客户服务 > 常见问题 >

《晶洲十二时辰系列》—巳时篇:风刀应用的前世今生

关键词:湿制程,风刀应用,清洗机

?高端湿制程装备及工艺技术综合解决方案提供商-晶洲装备风刀应用的前世今生

Kzone

前言

湿哒哒的不要

生活中足球彩票常听到的半导体、平板显示同属于泛半导体行业,载体主要为玻璃基、硅基。投入一张张硅片、玻璃基板,经过上百道制程输出芯片、显示屏等。如果将这上百道制程按照工艺进行分类的话,包括镀膜、蚀刻、曝光、显影、剥膜、洗净等;另外一种简单的分类方法可以将这上百道制程一分为二,一类为干制程,另一类为湿制程。湿制程在完成工艺后最终需要获得洁净干燥的表面。
干燥的实施足球彩票很多,足球彩票先从半导体制程RCA清洗常用的干燥实施足球彩票进行说明,给大家一些概念。RCA标准清洗法是1965年由Kern和Puotinen 等人在N.J.Princeton的RCA实验室首创的,并由此而得名。RCA是一种典型的、至今仍为最普遍使用的湿式化学清洗法。
Down Flow Spin Dryer:载体高速离心旋转状态下水分被上部的高速气体不断带走。
风刀应用的前世今生
风刀应用的前世今生
IPADryer:IPA蒸汽浴洗的加热足球彩票采用高温油(导热油)外包间接加热,由于高温油加热温度高,且对IPA加热密度均匀,因此可以获得均匀、足够地蒸汽密度,获得良好的蒸浴效果和干燥效果。
风刀应用的前世今生

MarangoniDryer:“Marangoni干燥”的原理,其基本思想就是采用可挥发的有机溶剂蒸汽喷射光学表面,由于溶剂挥发形成的的温度梯度(即Marangoni表面张力梯度)迅速使液膜表面产生收缩,从而达到干燥表面的目的,这样就避免了加热干燥或离心旋转的方法去除液膜,容易在光学表面上形成污染的缺点

风刀应用的前世今生

风刀应用的前世今生

 

 

 
以风刀干燥应用为主开始出现

TFT-LCD量产技术到目前已有30年的历史了,玻璃基板尺寸也从最初的1代线、2代线发展到目前最大可达11代线。显示行业早期基板尺寸比较小,湿法设备结构与半导体设备Single wafer结构类似,行业内一般称之为Spin Type:制程状态下基板不断做高速旋转,流体自上部均匀涂覆。跟吉林彩晶(中国大陆第一家TFT-LCD 公司)的前辈交流,20年前这些湿制程设备供应商主要还是来自日本,那时候基板的主要干燥足球彩票还主要采用上文所述的几种方法。

玻璃基板尺寸代线

玻璃基板尺寸代线

随着行业的不断发展,基板尺寸不断变大,设备配置足球彩票也在不断的更新。区别于半导体Spin和Bench Type,水平链式湿法设备被开发并大量应用于平板显示产线。因为基板尺寸的应用限制,G4.5以上湿法设备只能采用链式设备。通过该足球彩票,有效的解决了大尺寸基板稳定搬送,并获得了高设备稼动率和产能。

晶洲装备6代线湿制程设备

因工厂Layout布局、足球彩票工艺路线等差异,链式设备机构上按大类可细分为单层I型、双层I型、单层U型。具体的单元搭配因设备工艺别存在差异,下表以清洗机为例跟各位分享下晶洲装备一般单元搭配。其中黄色Mark部分AK表示为风刀,通过CDA(洁净压缩干燥空气)吹扫获得基板干燥。这种干燥足球彩票区别于前述几种干燥足球彩票。

清洗机单元搭配

 

 

 

一把刀、两把刀、多把刀

 

足球彩票做了一个数据统计,一个标准的G6 AMOLED 30K工厂前制程(Array、Cell、CF、OLED)湿法设备接近60台(套),包括清洗机、湿刻机、剥膜机、显影机等,而风刀作为最主要的干燥足球彩票被广泛应用。风刀安装示意如下:风刀安装一般与玻璃基板形成夹角,基板通过滚轮搬送经过风刀被均匀的吹干。目前前制程湿法设备一般基板上下位置各配置一把风刀。

 

晶洲湿制程装备风刀安装示意

多年前有幸在大陆某面板车间见过从日本JDI引入的二手产线设备,他们的湿法设备制造年代集中在上世纪九十年代末,那时候湿法设备风刀往往配置多把,一个风刀紧接着配置一个离子棒,这样多组搭配安装是因为显示行业初期前辈们对于技术持非常谨慎的态度,干燥会更有保障。随着装备制造技术的进一步发展以及产线现场硬件参数窗口不断优化,目前通过一把风刀已经能获得比较好的干燥效果。

风刀应用的前世今生

行业一直发展到现在,在某些制程或者特殊工艺风刀配置数量及安装足球彩票也会有差异,如下是切割磨边后清洗设备风刀配置示意,单台设备配置有4把风刀,风刀水平安装。有些特殊应用考量往往还需要配置加热功能,以热的足球彩票进一步辅助对应水汽的去除。

风刀应用的前世今生
 

 

一个刃、两个刃、什么刃

近些年来与平板显示终端朋友交流的时候聊到风刀单元往往会提到一个技术点“你们风刀是单刃还是双刃的”。足球彩票先用一个表以G6尺寸为例跟各位对单刃刀和双刃刀进行下对比说明。

风刀形式-单刃风刀和双刃风刀

单刃风刀气流通过单一狭缝吐出,刀口吐出气流方向与基板形成夹角;双刃风刀共有两个气体吐出口,与基板夹角及前后流量配比均有差异,前刃起主要吹扫作用,后刃进一步吹干同时形成稳定的气流吹扫,避免扰流的发生。除此之外,刀刃的细节设计部分也有很多Knowhow存在,包括两刃之间刀体连接处设计,刀刃内部腔室结构设计等,如下是另外一种双刃风刀设计示意。

风刀应用的前世今生

弄清楚单刃和双刃的区别,那么下一个问题来了“风刀是单刃好还是双刃好呢”。这两种风刀实施足球彩票没有绝对的好坏差异,单刃风刀硬件可调整参数比较多,可以给运营产线现场留下比较多的调试窗口,例如通过调整风刀与玻璃基板水平方向夹角来优化吹干效果。双刃风刀的应用对应设备整体设计和仿真模拟要求会比较高,对应留给运营产线现场可调整硬件参数不多。

结合现场设备调试难易程度及客户端实际应用情况,足球彩票做如下推荐:G6以上主工艺制程设备双刃风刀推荐,晶洲进行腔室设计模拟和气体扰流分析,G6以下尺寸单刃、双刃风刀配置无明显差异。

风刀应用的前世今生

 

 

风刀它牛气个啥

前几日足球彩票内部有个会议聊到“风刀制作的难点在哪儿或者说主要技术点是什么”,显而易见大家能够想到的是风刀制作的加工精度。目前应用于平板显示相关的流体模组(风刀也属于这个范畴)主要供应商均为外资企业,这些企业有一个共同特点:风刀类制作均以日本为重要基地;那么中国大陆目前平板显示前段工艺(Array、OLED、Cell、CF)湿制程设备风刀有成熟的供应商吗?抱歉,目前我个人还没有了解到有这样的公司。风刀制作工艺对于金属材料热处理技术、加工精度、装配手法均有很高的要求;因为这样一系列特殊要求存在,包括像面板厂设备工程师也不会轻易去做风刀解体的动作,因为非专业人员重新装配的可靠性不高。

风刀本质上是基板吹干的模组,最直接也最常见的足球彩票不良是水残,常发生在基板流片末端或者中间位置;该不良发生的关联因素会比较多,常见的可能会与基板搬送平坦度以及气流扰流发生存在关系。

 

风刀应用的前世今生

风刀是通过气流吹扫获得基板干燥,对应6代线基板尺寸一把刀的流量可达2000Lpm,在这样大流量、高压力流体持续打击下,基板破片发生风险存在。该不良的主要预防措施主要包括搬送部前后压持机构考量、有限元分析基板Bending量等。

风刀应用的前世今生

 

上面两项主要从设备硬件角度考量居多,下面足球彩票来说下可能因风刀导致的工艺面不良。足球彩票看下面一张图,黑点表示足球彩票缺陷,通过Map分布足球彩票看到了与风刀安装硬件相匹配的夹角缺陷聚集,气流扰动以及干区污染物防止需要综合考量。

风刀应用的前世今生

足球彩票再从足球彩票点灯的维度来说一个与风刀强相关的不良:斜纹Mura,下图足球彩票可以看到与Panel形成夹角的亮暗不均,这样一个特定的夹角往往是垂直于风刀的安装方向,也就是与气流在基板表面吹扫方向相一致。这样的工艺不良常见于前制程敏感的工艺站点,而且往往当站点的量测机台不能有效的检出并表征,直到最终足球彩票点灯才能表征。那这样一个不良往往与设备现场调试以及稳定的Database控制强相关。

风刀应用的前世今生

 

上面所述的种种风刀相关不良只是示例,通过上面的分享的确也能看出风刀是一个很关键的模组。那我买最好的风刀这些问题是不是就能规避呢?最贵的风刀就是最好的风刀吗?足球彩票认为上述不良的预防不能仅仅通过风刀的选型优化来规避,更重要的是对应风刀这个设备腔室做整体分析并优化:设计面前置进行基板搬送形变量分析,气体流向有限元分析;应用面基于工艺参数窗口进行现场优化并建立稳定的生产条件。

风刀应用的前世今生

 

 

 
一言总结晶洲风刀干燥系统保障方案
山河已暮,时已寝安,足球彩票约线下当面再做交流。
 
 

 

微信公众平台二维码
Related recommendation
相关推荐
《晶洲十二时辰系列》—巳时篇:风刀应用的前世今生

《晶洲十二时辰系列》—巳时篇:风刀应用的前世今生

文章标签·52点击· 12-18

湿制程在完成工艺后最终需要获得洁净干燥的表面。 干燥的实施足球彩票很多,今天足球彩票从半导体制程RCA清洗常用的干燥实施足球彩票开始,给大家一些概念。...
《晶洲十二时辰系列》—辰时篇:关于利用机能水洗净技术开发与应用

《晶洲十二时辰系列》—辰时篇:关于利用机能水洗净技

文章标签·729点击· 01-09

化学清洗是利用各种化学试剂去除附着在物体表面上的杂质的方法。在平板显示及半导体行业,化学清洗是指清除吸附在半导体、金属材料以及用具表面上...
《晶洲十二时辰系列》—卯时篇:颗粒污染物附着机制及一般高压洗净

《晶洲十二时辰系列》—卯时篇:颗粒污染物附着机制及

文章标签·694点击· 11-22

颗粒污染物附着机制及一般高压洗净....
《晶洲十二时辰系列》—寅时篇:基板破片控制

《晶洲十二时辰系列》—寅时篇:基板破片控制

文章标签·172点击· 11-01

晶洲装备基板破片控制...
《晶洲十二时辰系列》—丑时篇:二次配管及设备泄露防治

《晶洲十二时辰系列》—丑时篇:二次配管及设备泄露防

文章标签·276点击· 10-10

晶洲装备湿法设备二次配管及泄露防治解决方案...
晶洲十二时辰系列子时篇:晶洲设备洗净能力保障

晶洲十二时辰系列子时篇:晶洲设备洗净能力保障

文章标签·181点击· 09-19

为了让顾客对晶洲装备的技术能力能够更深入的了解,基于晶洲足球彩票设计、生产及应用实际,结合客户端关注重点事项,晶洲装备推出晶洲十二时辰系列,...
栏目列表/Column List
原型开发与代工
安装测试及培训
售后服务
常见问题
下载中心