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晶洲十二时辰系列子时篇:晶洲设备洗净能力保障

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为了让顾客对晶洲装备的技术能力能够更深入的了解,基于晶洲足球彩票设计、生产及应用实际,结合客户端关注重点事项,晶洲装备推出晶洲十二时辰系列,建立客户对于晶洲的技术认知新印象。

 

《晶洲十二时辰系列》—子时篇:晶洲设备洗净能力保障
 

 

在半导体及面板制造工艺中,80%以上的工序要经过化学处理,而每一道化学处理都离不开超纯水;在硅片的处理工序中,一半以上的工序经过超纯水清洗后便直接进入高温处理过程,此时如水中含有杂质便会进入器件结构,造成器件性能下降成品率低。
 

Initial Clear入料前清洗机

 
 
 
 

晶洲设备洗净能力与用水设计理念

 
 
 
 

设备到达客户现场前制定详细的安装调试计划,从设备定位开始到整个工艺调试完成交付使用进行细节拆分,做好关键节点把关。装机现场实行看板管理,结合整体进度明确今明两天施工具体细项,暴露问题并解决问题,从软硬件装机调试到6S管理,在基于合理化的设备用水设计及出色的装机服务团队保障下,晶洲的基板清洗机洗净能力完全满足客户洗净能力指标。

《晶洲十二时辰系列》—子时篇:晶洲设备洗净能力保障
UPW Supply Cascade情况下亦需要保留直供水设计管路,为工艺调试阶段预留硬件窗口;药液与纯水切换单元有效置换可靠性保障,上下Nozzle布局及流量合理性考量。
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以18年晶洲交付的基板预清洗设备(Initial Cleaner)为例,其洗净后基板整面(≥1μm)Particle 计数均小于20ea,部分基板甚至只有1ea。具体数据见下图。

《晶洲十二时辰系列》—子时篇:晶洲设备洗净能力保障
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△晶洲交付的基板预清洗设备(Initial Cleaner)洗净能力数据
工厂所提供动力品质标准
《晶洲十二时辰系列》—子时篇:晶洲设备洗净能力保障
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作为湿制程领域国产设备商,相较于日韩企业,晶洲属于后起之秀,客户对于晶洲装备持有疑虑,这是晶洲装备成长之路上的必经阶段,晶洲装备有信心用实际能力获取客户信任,也让更多的新客户认可晶洲装备的技术、品质与服务为装备国产化的发展提供支持。
 
 
 
 
 

微电子行业用水标准

 
 
 
 
超纯水(Ultrapure water)又称UP水,是指电阻率达到18 MΩ*cm(25℃)的水。其中电阻率是指在一定的温度下,边长1cm 的立方体水,其相对的两侧面之间的电阻,其单位是欧姆.厘米(Ω.cm)。水的电阻率的大小,与水中含盐量的多少,水中离子浓度、离子的电荷数以及离子的运动速度有关。因此,纯净的水电阻率很大,超纯水电阻率就更大。水越纯,电阻率越大。电子工业提出的超纯水电阻率≥18MΩ.cm (25℃),已极其接近理论纯水水质18.3 MΩ.cm(25℃)。对电解质、DO、TOC、SIO2、颗粒及细菌等技术指标提出更高要求。

《晶洲十二时辰系列》—子时篇:晶洲设备洗净能力保障

 

 
 
 
 

超纯水电阻率的计算与影响因素

 
 
 
 
由于水中含有各种溶解盐类,并以离子的形态存在,当水中插入一对电极时,通电之后,在电场的作用下,带电的离子就产生一定方向的移动,水中的阴离子移向阳极,阳离子移向阴极,使水溶液起导电作用。水的导电能力的强弱程度,就称为电导度S(或称电导)。电导度反映了水中含盐量的多少,是水的纯净程度的一个重要指标。水越纯净,含盐量越少,电阻越大,电导度越小。超纯水几乎不能导电。电导的大小等于电阻值的倒数。即S=1/R,S=(1/ρ)·(F/L)。1/ρ就称为电导率,其国际制单位为西·米-1(S·m-1)。

1

 
 
理论上,水中由于水本身的电解作用而只存在两种离子即 H+ 和OH-, 其浓度如下:

[H+] = [OH-] = 10-7 eq/l (or 10-10eq/ml)

这些浓度的离子经计算而得到理论的电导率为:
 c=0.055mS/cm(在 25°C)

电阻率为电导率的倒数,所以:

R=18. 2MΩ.CM(在25°C)
 
 

1

温度对超纯水电阻率的影响

水的温度越高,水分子运动越活跃,分子外层电子能量越大,外层电子更容易挣脱原子核的束缚,水的导电能力增强,电阻率减小。

《晶洲十二时辰系列》—子时篇:晶洲设备洗净能力保障

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2

CO2对超纯水的影响

由于空气中的二氧化碳会与水反应生成碳酸,
超纯水一旦暴露在空气中,它的纯度会迅速下降。
CO2 + H2O = H2CO3
H2CO3 = H+ + HCO3-
HCO3- = H+ + CO32-
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超纯水指标说明

 
 
 
 

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超纯水系统水质标准

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超纯水中的主要杂质

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3

超纯水的技术难点

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